一定质量的气体,当温度不变时,其压力与体积成反比(压力与体积的乘积恒定不变),即P1/P2=V2/V1。
P:压力[Pa]
V:体积[m3]

一定质量的气体,当温度不变时,其压力与体积成反比(压力与体积的乘积恒定不变),即P1/P2=V2/V1。
P:压力[Pa]
V:体积[m3]
一定质量的气体,在压力不变时,其体积与绝对温度成正比,即V1/V2=T1/T2。
V:体积[m3]
T:温度[K]
一定质量的气体,当气体的体积保持不变,其压力与绝对温度成正比,即P1/P2=T1/T2
P:压力[Pa]
T :温度[K]
P:压力 (Pa)
V:体积 (m³)
n:气体物质的量 (mol)
R:理想气体常数 (8.314 J/(mol·K))
T:绝对温度 (K)
λ:平均自由程 (m)
k:玻尔兹曼常数 (1.38×10⁻²³ J/K)
d:分子直径 (m)
P:压力 (Pa)
T:温度 (K)
平均自由程与流道直径之间的比值可用于描述流动状态。该比值被称为克努森数。
λ :平均自由程[m]
d :流道直径[m]
Kn :克努森数 无量纲数
Re:雷诺数 无量纲数
ρ:流体密度[kg/m³]
v:特征流速[m/s]
L:特征长度[m]
μ:流体动力粘度[Pa·s]
Q:气体流量[Pa·m³/s 或 Torr·L/s]
P:压强[Pa 或 Torr]
V:体积[L或m3]
T:时间[s]
用气体流量除以入口压力得到体积流率,得到真空泵的抽速。
Q:气体流量[Pa·m³/s 或 Torr·L/s]
P:压强[Pa 或 Torr]
V:体积[L或m2]
T:时间[s]
Q漏:系统漏率[Pa·m³/s]
Δp:测量期间的压力变化量[Pa]
V:系统容积[m³]
Δt:测量时间[s]
流导(C)是真空系统中衡量气体流动能力的参数,表示在单位压差下气体通过管道或元件的流量,单位通常为 L/s 或 m³/s。
Q:气体流量[Pa·m³/s 或 Torr·L/s]
ΔP:管道两端的压差[Pa或 Torr]
t:抽气时间 (s)
V:容器体积 (m³)
S:泵的有效抽速 (m³/s)
P1:初始压力 (Pa)
P2:终止压力 (Pa)